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热缺陷是由于晶体中的原子或离子的热运动而造成的缺陷。从几何图形上看是一种点缺陷。热缺陷的数量与温度有关，温度愈高，造成缺陷的机会愈多，主要分为弗仑克尔缺陷和两类。
特点：1、弗仑克尔缺陷情况下，空位与间隙粒子成对出现，数量相等，晶体体积不发生变化。
2、肖特基缺陷情况下，体积增大，对离子晶体、正负离子空位成对出现，数量相等。
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