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蓝宝石衬底。蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好，蓝宝石的稳定性很好，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。硅衬底。硅衬底的芯片电极可采用两种接触方式，分别是L接触和V接触，硅是热的良导体，器件的导热性能可以明显改善，可延长器件的寿命。碳化硅衬底。碳化硅衬底的LED芯片电极是L型电极，电流是纵向流动。这种衬底制作的器件的导电和导热性能都非常好，有利于做成面积较大的大功率器件。
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