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光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem。目前，世界上能制造光刻机的国家有荷兰、日本、德国和中国。
目前能制造高端光刻机的厂家有：荷兰ASML，日本Nikon，日本Canon，以及上海微电子装备和德国的欧泰克。
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