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1、用石英砂和焦炭高温反应生成工业硅；
2、工业硅加上氯化氢反应生成三氯化硅；
3、将三氯化硅精馏生成高纯度三氯化硅；
4、用高纯度三氯化硅和高纯度氢反应生成多晶硅；
5、多晶硅高温熔融冷却后生成单晶硅。
如上便是工业制硅的方法。
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